產(chǎn)品介紹:
產(chǎn)品特征:
最大行程4m x 4m 以線(xiàn)性滑軌或空氣軸承架構之定位平臺良好接地設計防止雜訊干擾 Z向震動(dòng)可達奈米等級以下最大速度可達5m/s 標準重現精度1um或以下位置回饋系統解析度最低可達50nm
產(chǎn)品應用:
半導體設備 自動(dòng)化搬送 FPD設備 太陽(yáng)能制造設備 PCB設備 水刀設備 鉆石切割設備 AOI檢測設備 工具機
